18.10.2013 13:09
Waferverpackung Entegris Ultrapak

Hallo zusammen,

ich habe eine Frage bezüglich Waferverpackungen.
Wir verwenden oben genannte Verpackungen für ungesägte Wafer diese
Verpackungen laden sich Statisch auf und auch bei Widerstandsmessungen sind diese Verpackungen größer 1TOhm. Meine Frage nun gibt es dafür auch
Normen oder Regelungen das diese ableitend oder antistatisch sein müssen.
Bin da gerade ein wenig ratlos.

19.10.2013 09:25
Re: Waferverpackung Entegris Ultrapak
Hallo styc und herzlich Willkommen auf unserem Forum.

Lt. DIN EN 61340-5-1 und 61340-5-3 muss die am ESD-empfindlichen Bauelement anliegende Verpackung ESD-gerecht sein … entweder (volumen-)leitfähig oder statisch ableitend (Oberflächenantistatikum). Und es müssen elektrostatische Aufladungen von Isolatoren vermieden werden (Grenzwert unter 100 Volt bei Kontakt mit ESDS… falls größer 2kV dann Mindestabstand zu ESDS von 30cm).

Leider kann es vorkommen, dass Waferhorden - die eigentlich für die Rohlinge (ohne aktive/passive Struktur) gedacht sind – weiterhin im Prozess verwendet werden. Obwohl diese, auf Grund ihrer Neigung zur elektrostatischen Aufladung, ungeeignet sind. Teilweise habe ich bei nicht ESD-gerechten Horden Aufladungen größer 8 kV gemessen, was hauptsächlich daran liegt, dass sie sehr gut isolieren und glatte Oberflächen besitzen. Am schlimmsten waren die Teflonhorden bei Prozessschritten, wo z.B. umgehordet wird, durch Personen oder Automaten, die die Wafer aus der Horde z.B. zum Schleifen und Sägen ziehen. Dabei ist nicht nur die Horde aufgeladen, sondern auch der Wafer (meist auf der nicht aktive Seite) und es kann zu Überschlägen von Grundplatte zu aktiver Struktur kommen. Vor allem dann , wenn metallische Greifer oder Bolts in die Nähe des aufgeladenen Wafers kommen.

Ich würde dringend empfehlen, dass ESD-gerechte Horden verwendet werden!

Schöne Grüsse
vom ESD-Coach

22.10.2013 12:22
Re: Waferverpackung Entegris Ultrapak
Dankeschön für die schnelle Antwort!
Da müssen wir jetzt mal mit unseren Lieferanten reden...